什么是光刻 

　　光刻是一种图形转移技术，将光刻版上的图形转移到涂有光敏材料，即光刻胶的硅片上。

 

• 光首先通过光刻版，将硅片上的光刻胶曝光，从而产生可以沉积金属的蓝图。硅片最终被切割，分层并封装在一起，形成集成电路。

• 电子束或激光束图形发生器是该工艺过程中的关键部分。这些工具用来生产光刻版-一种覆有精细金属硌形成的集成电路图形的低膨玻璃或石英平板。

• 整个集成电路器件的制造从设计电路开始。电路设计者采用先进设计软件来产生版图-器件的蓝图。这些信息然后传递到光刻版图形发生器。图形发生器采用电子束或激光束根据这些信息在覆盖有光刻胶的基版上画出图形。然后基版再去显影，刻蚀从而生产出光刻版。